碳化硅表面激光抛光解决方案
产品介绍：碳化硅表面激光抛光解决方案是基于客户需求，新开发的高科技产品。操控简单，可根据需求定制手动、半自动和自动化类型。产品操作简单，上电开机即可进行无化学试剂、无介质、无污染、无水的碳化硅材料表面抛光。
产品尺寸L*W*H：1670*1450*1855mm
使用环境：万级洁净室以上运行环境（非洁净环境需要升级版产品机）
产品指标：主料上下表面粗糙度Ra0.8，侧面内外侧和小槽适度容许。如指标需求有持续提升、变化、试验等要求，可另行商议。
其他材料：半导体、芯片、微电子等碳基、硅基材料的微纳加工
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